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体育竞猜-2000 EFEM

2021-06-06 18:13
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体育竞猜-2000 EFEM


EFEM是一个圆晶前面传送机器设备,是一个与SEMI规范兼容的页面系统软件,能够手动式或是相互配合MR或OHT的安装水准传送圆晶。该系统软件给予单线插口供加工厂操纵,充足的传送间隔与加工厂互动和简易的方法供人工服务。占地小,选用带外界轴的手臂机械臂,根据两轴复合型健身运动完成拿取片,巨大的提升了传片高效率的另外而又减少了商品维护保养成本费。內部全新升级的汽体引流构造,确保室内空间洁净度等级可以达到ISO Class 1级别,确保圆晶传送全过程的洁净度等级。內部含有多种自锁互锁维护,从手机软件到硬件配置,多种确保圆晶传送全过程中的安全性,工作人员与机器设备的安全性。


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